單晶、多晶矽是用於製造晶圓和光電或者太陽能電池的關鍵材料,是個需要要求高標準的製程技術,被廣泛做為半導體、LED、太陽能產業的原料。半導體業目前正朝向下一代450mm晶圓開發技術進行。日本晶圓供應商正開發首批450mm原型,且很快就會披露相關產品,而排名全球的晶圓製造商龍頭,正是藉由FEMAGsoft的長晶製程模擬來突破scale-up所遭遇的技術問題。
FEMAGsoft分析軟體所提供的解決方案和服務可作為長晶製程去瓶頸模擬工具。相對其它長晶製程類似軟體其優勢為利用3D建模進行對設備和製程的詳細的、高度擬真的設計,以及精準,快速的分析結果。為提升長晶製程的品質及良率,本次研討會將針對: 長晶製程-固液相變化分析、內(熱)應力分析、熱傳分析(傳導、對流、幅射)、電磁耦合系統分析做討論。 |